Horizontalna peć za oblaganje silicijum karbidom CVD za epitaksijalni sloj poluprovodnika

Ova oprema se koristi za oblaganje materijala na bazi ugljika/keramike od silicijum karbida, posebno za taloženje silicijum karbida na površini poluprovodničkog epitaksijalnog susceptora i prstena za jetkanje.

Epitaksijalni susceptor, grafitni disk visoke čistoće, sa kružnim žljebom na njemu za fiksiranje podloge vafla. Epitaksijalni susceptor napravljen od grafita očito ne može zadovoljiti ultravisoke zahtjeve čistoće u procesu poluprovodnika. Zbog toga moramo koristiti hemijsko taloženje parom na susceptoru kako bi se omotao sloj gustog filma od silicijum karbida. Procesi ploča kao što su litografija i ionska implantacija se izvode na epitaksijalnom sloju.

Trenutno je ova oprema uspešno primenjena u proizvodnji i pripremi epitaksijalnih susceptora, prstenova za jetkanje i drugih delova poluprovodničkih šupljina.

Profil kompanije:

Zhuzhou Ruideer Intelligent Equipment Co., Ltd (RDE) je vodeći proizvođač peći za vakuumsko sinteriranje (termička obrada na visokim temperaturama) i peći za CVD oblaganje, fokusirajući se na razvoj procesa, proizvodnju opreme, prodaju i postprodajne usluge. Posvećeni smo snabdijevanju naših kupaca najvišim nivoom kvaliteta proizvoda i usluga.

Osnovan 19. septembra 2011., RDE ima standardizovane radionice i poslovne zgrade, koje pokrivaju površinu od više od 19,000 kvadratnih metara, sa više od 170 zaposlenih. Ruideerova produktivnost dostiže 120 kompleta peći za sinterovanje pod pritiskom na gas godišnje, 500,000 komada PVD premaza mesečno i 250,000 komada CVD premaza mesečno.

RDE peći se već dugi niz godina uspješno koriste u cijeloj zemlji i svijetu. Nastavite raditi na tehničkom razvoju i poboljšanjima, stječući 105 ovlaštenja za intelektualnu svojinu, 10 patenata za pronalaske i 4 međunarodna patenta.

Potvrda:

Standardi dizajna

Oprema je projektovana u skladu sa zahtjevima za posude pod pritiskom Zavoda za kvalitet i tehnički nadzor, a osposobljena je nakon ispitivanja pod pritiskom i otpremljena. Električni dizajn i konstrukcija zadovoljavaju nacionalne standarde.

• Prethodno testiranje i prijem ugradnje

Oprema je u potpunosti montirana u našoj fabrici, uključujući sve cjevovode, vakum cjevovode, cjevovode procesnog gasa, cjevovode rashladne vode, cjevovode komprimovanog zraka, itd. Prethodno ispitivanje se može izvršiti nakon ugradnje. Na lokaciji kupca, cjevovode osim opreme osigurava kupac. Instalacija uključuje i povezivanje svih kablova. Na mjestu kupca, glavni kabel koji povezuje strujni ormar obezbjeđuje kupac. Nakon ugradnje vršimo vakuumske i pozitivne testove curenja na cijeloj opremi, kao i mehanička i električna ispitivanja funkcionalnosti.

• Rastavljanje i transport

Oprema će biti rastavljena na više velikih delova, standardizovano spakovana i utovarena u transportno vozilo.

• Instalacija i puštanje u rad na lokaciji korisnika

Inženjer nakon prodaje Redel-a će voditi tim do potpunog puštanja u rad, probnog spaljivanja proizvoda i drugih poslova u roku od 20 radnih dana. Kupac treba da izvrši odgovarajuće pripreme i obezbedi potrebne alate, kao što su oprema za dizanje i dizanje. I pružite podršku osoblju za montažu (preporučuje se 1 mehaničko i 1 električarsko osoblje).

• Konačno prihvatanje

Nakon montaže i puštanja u rad, oprema se može konačno prihvatiti u skladu sa zahtjevima tehničkog ugovora.

• Obuka

Naši inženjeri nakon prodaje osigurat će sistematsku i kompletnu obuku na licu mjesta, uključujući rad, održavanje, rješavanje problema itd.

• Isporuka tehničkih podataka

Kako bi se osigurao siguran rad i održavanje opreme, kupcima će biti dostavljeni sljedeći tehnički podaci:

1. Izgled instalacije opreme

2. Uputstvo za upotrebu

3. Spisak rezervnih delova

4. Električni crteži

5. Priručnik za komponente

ČESTA PITANJA

Da li ste fabrička ili trgovinska kompanija?

P: Da li ste fabrika ili trgovačko preduzeće?

O: Mi smo vodeći proizvođač visokotemperaturnih vakuumskih peći u Kini sa više od 10 godina iskustva.

Imate li prilagodbu ili OEM uslugu?

P: Da li imate prilagođavanje ili OEM uslugu?

O: Da, imamo moćan tim za istraživanje i razvoj i opremu visoke tehnologije. Tako da ne možemo isporučiti samo običan model, već i prilagodljivu peć kao popravak naših klijenata.

Koja je tvoja prednost?
P: Koja je vaša prednost?
A:

●Brzi odgovor na vaš upit

●Visoka kontrola kvaliteta

●Stabilan lanac snabdevanja

●Pravovremena isporuka

●Odlična postprodajna usluga